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400-1177-868

EDP系列 低壓隔膜閥

? 適用于超高純氣體、特殊氣體

? 極少顆粒產生

? 密封性好

? 耐腐蝕性強

? 閥體材料:316L、316L VAR、316L VIM-VAR 符合 SEMI F20

? 本體尺寸:1/4"-1/2"

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產品參數

? 工作壓力:145psig ( 10bar )

? 工作溫度:-10-80℃ ( 14-176℉ )

? 驅動壓力:60-90psig ( 6-8bar )

? 膜片材料:鎳鈷合金

? 本體尺寸:1/4"-1/2"

? 連接方式:卡套、可旋轉ECR內外螺紋、焊接、公頭ECR

? 閥體材料:316L、316L VAR、316L VIM-VAR 符合 SEMI F20

? 密封材料:PCTFE、Vespel? 、PFA

? 閥體泄漏率(向內泄露):1.0x10-10 Pa·m3/s 以下

? 閥體泄漏率(向外泄露):1.0x10-10 Pa·m3/s 以下

? 循環壽命:400W次以上

? 閥門內部流道:電解拋光處理 Ra≤0.13μm、Ra≤0.25μm